發布日期：2021-10-14
青浦區科協領導來我司走訪調研
青浦區科協領導來我司走訪調研
2023-03-17 10:05
瀏覽次數：438
日前，上海市經濟和信息化委員會公示了2022年度（第一批）上海市“專精特新”企業名單，上海映智研磨材料有限公司（以下簡稱“映智研磨”）成功入圍！作為CMP材料的研發制造商和服務商，映智研磨積極推進為半導體及其他產業CMP材料的高精特新產品研發和產業化，將長期致力于CMP材料整體解決方案的國產化替代和全球創新。
公示名單詳情
何為“專精特新”
專：企業專注核心業務，具備專業化生產、服務和協作配套的能力，其產品和服務在產業鏈某個環節中處于優勢地位，為大企業、大項目和產業鏈提供優質零部件、元器件、配套產品和配套服務。
精：經營管理精細高效，企業在經營管理中建立了精細高效的制度、流程和體系，實現了生產精細化、管理精細化、服務精細化。
特：特色化，企業針對特定市場或者特定消費群體，通過獨有的工藝、技術、配方等進行研制生產或者提供獨具特色的產品或服務，實現企業的獨有性，獨特性。
新：創新能力成果顯著，企業具有創新能力、持續的創新意識。企業產品或者服務屬于新經濟、新產業領域或新技術、新工藝、新創意、新模式等方面創新成果，擁有自主知識產權，應用前景廣闊，具備較高技術含量或附加值，經濟社會效益顯著。
青浦區科協領導來我司走訪調研
青浦區科協領導來我司走訪調研
2023-03-17 10:05
瀏覽次數：438
2022年2月8日上午，新春開工伊始，有“臺灣存儲教父”之稱、全球DRAM界最資深的人士之一的前長江存儲執行董事及代行董事長、武漢新芯CEO、紫光集團DRAM事業群CEO、現任晶芯半導體(黃石)有限公司董事長高啟全先生、滬電股份董事會秘書李明貴等一行人員，深入上海映智研磨溝通交流。上海映智研磨材料有限公司總經理張澤芳博士等一起參與了交流活動。
座談會上，張澤芳博士對高董和李總一行的到來表示熱烈地歡迎，對高董數十年孜孜不倦在半導體行業的深耕，對行業蓬勃發展所做出重要貢獻的半導體行業資深專家、前輩，表達由衷地敬意，同時也對高董和李總等對公司發展的關心和支持表示衷心地感謝。隨后，張澤芳博士介紹了公司的發展歷程、產品研發和未來發展規劃等情況，引領參觀了公司辦公區和實驗室。高董一行高度贊揚映智研磨不忘初心，砥礪前行，拼搏進取的創業精神和企業文化。
青浦區科協領導來我司走訪調研
青浦區科協領導來我司走訪調研
2023-03-17 10:05
瀏覽次數：438
2022年1月19日，在青浦區張江云立方會議室，上海大學化學系與校友企業——上海映智研磨材料有限公司大學生就業與實習基地揭牌儀式暨校企合作交流會順利舉行。
出席會議的有：上海大學黨委常委、教師工作部部長、統戰部部長曹為民，青浦區科委副主任崔蘊、區科委科長蔡信燕，上海大學理學院化學系主任曹衛國、化學學科黨總支書記邢菲菲、上海映智研磨材料有限公司總經理張澤芳、化學系黨政領導班子、化學學科部分教授、青年教師、研究生、企業方代表共20余人。
崔蘊主任表示青浦區高度重視科技創新，加大科技企業培育力度。區委區政府歡迎區內企業與高校開展深入合作，區科委將會持續優化服務理念，做好政策宣傳。蔡信燕科長詳細介紹了青浦區科委對于企業發展和校企合作的各類鼓勵政策。
曹為民常委介紹了上海大學的基本情況，包括學科分布、師資力量、學生情況、校友工作情況等。他表示上海大學非常重視校企合作，希望化學系發揮人才和科研優勢，與企業在專業領域建立良好的科研、育人合作關系，推進產學研一體化。曹衛國主任介紹了化學系歷史沿革、學科建設，科研發展，人才培養情況，歡迎青浦區企業與化學系開展產學研、人才培養合作。邢菲菲書記表示希望拓寬校企合作的載體和形式，推進學校的立德樹人工作。
上海大學化學系校友張澤芳博士感恩母校和化學系培養、導師的精心教導，感謝青浦區對于高新技術企業的支持。他介紹了公司的主營業務和產品，期望與上海大學化學系深入開展校企合作，助力企業解決科技“卡脖子”問題，推進企業自主創新。
接著，企業方部分研發人員介紹了公司經營及研發情況，產學研合作項目的進度與目標情況。會上，雙方代表積極發言、熱烈討論，探討了面向國家需要、市場需求，以解決“卡脖子”科研難題、實現自主創新為目標，上海大學化學系與企業在產學研一體化、就業與實習基地建設、人才培養上開展密切合作。會上，上海大學化學系與上海映智研磨材料有限公司大學生就業與實習基地揭牌。
會后，老師們參觀了企業的實驗室、研發、辦公區域，并與公司的研發、管理人員進行了深入的交流，在半導體CMP材料等研究上已達成了合作共識。研究生代表還認真采訪了優秀校友張澤芳，張澤芳寄語母校學生，要牢記錢偉長老校長說的“祖國的需要就是我的專業”，自強不息，為國家建設、母校發展貢獻力量。
近年來，化學系著力深化校企合作、創新人才培養，與多家知名企業建立了長期合作關系。化學系將繼續積極探索建立學校、地方、企業“三位一體”的科研、育人創新體系，努力做好產學研融合，獻禮上海大學建校百年。
青浦區科協領導來我司走訪調研
青浦區科協領導來我司走訪調研
2023-03-17 10:05
瀏覽次數：438
化學機械拋光CMP材料是集成電路化學機械拋光工藝必不可少的耗材，化學機械拋光工藝是半導體制造過程中的關鍵流程之一，拋光材料則是該工藝必不可少的耗材。在整個半導體材料成本中，拋光材料僅次于硅片、電子氣體和掩膜板，占比 7%， 是半導體制造的重要材料之一。
材料簡介
化學機械拋光（Chemical Mechanical Polishing，CMP）是集成電路制造過程中實現晶圓全局均勻平坦化的關鍵工藝，通過采用較軟的材料來實現高質量的表面拋光。拋光材料是 CMP 工藝必不可少的耗材。
根據功能的不同，可劃分為拋光墊、拋光液、調節器，以及清潔劑等， 主要以拋光墊和拋光液為主。
本文重點介紹用于晶圓加工領域的化學機械拋光。
根據功能的不同，可劃分為拋光墊、拋光液、調節器，以及清潔劑等， 主要以拋光墊和拋光液為主。
本文重點介紹用于晶圓加工領域的化學機械拋光。
拋光材料分類及特點
應用領域
晶圓加工、金屬及非金屬的表面加工
CMFP拋光原理
CMP 利用晶圓和拋光頭之間的相對運動來實現平坦化，拋光頭以一定壓力壓在旋轉的拋光墊上，研磨液在硅片表面和拋光墊之間流動，在拋光墊的傳輸和離心力的作用下，均勻分布在硅片和拋光墊之間，形成一層研磨液液體薄膜。主要包含以下 2 個過程：
1.化學過程：研磨液中的化學品和硅片表面發生化學反應，生成比較容易去除的物質；
2.物理過程：研磨液中的磨粒和硅片表面材料發生機械物理摩擦，去除化學反應生成的物質。
1.化學過程：研磨液中的化學品和硅片表面發生化學反應，生成比較容易去除的物質；
2.物理過程：研磨液中的磨粒和硅片表面材料發生機械物理摩擦，去除化學反應生成的物質。
行業發展目標
工業和信息化部印發的《重點新材料首批次應用示范指導目錄（2018 年版）》中對 CMP 材料的發展要求如下：
CMP 拋光液：
小于 45 納米線寬集成電路制造用CMP 拋光液系列產品，包括銅拋光液、銅阻擋層銅拋光液、氧化物銅拋光液、多晶硅銅拋光液、鎢拋光液等；200~300mm 硅片工藝用拋光液；
CMP 拋光墊、CMP 修整盤：
200~300mm 集成電路制造 CMP 工藝用拋光墊、修整盤；200~300mm 硅片工藝用拋光墊、修整盤。
CMP 拋光液：
小于 45 納米線寬集成電路制造用CMP 拋光液系列產品，包括銅拋光液、銅阻擋層銅拋光液、氧化物銅拋光液、多晶硅銅拋光液、鎢拋光液等；200~300mm 硅片工藝用拋光液；
CMP 拋光墊、CMP 修整盤：
200~300mm 集成電路制造 CMP 工藝用拋光墊、修整盤；200~300mm 硅片工藝用拋光墊、修整盤。
市場規模預測
據 SEMI 預測，到 2020 年全球拋光材料市場規模將達到 19 億美元以上，其中拋光液的市場規模有望在 2020年突破 12 億美元，是帶動拋光耗材市場增長的主要動力。
主要研究單位 / 公司
應用案例
半導體：
化學機械拋光
化學機械拋光
青浦區科協領導來我司走訪調研
青浦區科協領導來我司走訪調研
2023-03-17 10:05
瀏覽次數：438
2021年11月18日上午，上海映智研磨材料有限公司來到我校HA101會議室與化學系召開校企合作推進會。總經理張澤芳、副總經理張姝、總經理助理夏思奇、化學系系主任曹衛國、化學學科黨總支書記邢菲菲、副主任丁益民、趙洪濱、洪玲、學生黨總支副書記胡研及化學學科部分教師出席了本次會議。會議由化學系系主任曹衛國教授主持。
上海映智研磨材料有限公司是國內較優秀的化學機械拋光（CMP）材料提供商和CMP整體解決方案服務商，由我校化學系08屆校友張澤芳于2013年創辦。公司依靠強大的科研背景和自主研發能力，為半導體襯底、LED藍寶石襯底、消費電子等相關行業客戶提供不同規格的硅溶膠、拋光液、拋光墊以及CMP領域相關的系列產品和整體解決方案。公司先后在山西臨汾和江蘇徐州設立生產基地，有多項發明專利授權，并長期致力于CMP材料的國產化替代及全球創新。本次校企合作推進會基于公司的行業特點，進一步從產、學、研角度出發，圍繞行業發展及學生培養展開交流。 
總經理張澤芳受化學系邀請，曾多次來校講學。為了表示感謝，化學系向他贈送了感謝狀。本次交流，圍繞建立聯合實驗室、學生實習基地、校友捐贈及畢業生就業等相關問題進一步深入推進，并就具體合作意向進行了部門及人員的對接。總經理張澤芳表示，作為上大畢業的學子，非常感謝母校的栽培，希望通過合作可以為母校的學生培養做出貢獻。化學系系主任曹衛國教授肯定了張澤芳校友前期的工作，同時也指出，對于校友企業，化學系愿意給予更多的支持和幫助，希望通過合作不僅可以為學校的學生培養助力，也會盡力為校友企業提供技術合作和支持，實現雙贏的目標。
讓我們共同期待化學系能夠在未來的科研及學生培養中取得更加長足的發展，同時也祝福化學系的校友企業能夠蒸蒸日上，生意興隆！
青浦區科協領導來我司走訪調研
青浦區科協領導來我司走訪調研
2023-03-17 10:05
瀏覽次數：438
硅溶膠(膠體二氧化硅)，也稱為硅酸溶液，是無定形二氧化硅聚集體顆粒在水中的膠體分散體。硅溶膠具有較寬的失水溫度范圍，這不僅會破壞其結合強度，還會使其三維結構更加穩定，產生更高的結合強度。它是精密鑄造的良好無機粘結劑。
20世紀60年代，硅溶膠開始被用作精密鑄造的粘結劑。20世紀90年代以來，由于環境保護壓力的增加，硅溶膠逐漸取代了被廣泛使用的污染嚴重、價格昂貴的硅酸乙酯水解物。目前，聚合物增強快干硅溶膠在世界熔模鑄造行業中被廣泛用作粘結劑。
精密鑄造是指獲得具有精確尺寸的鑄件的過程的總稱。精密鑄造也稱為失蠟鑄造。其產品精密復雜，接近零件的最終形狀，無需加工或少量加工即可直接使用。這是一種先進的近凈成形工藝。該工藝包括：選擇合適的熔模材料(如石蠟)制作熔模；重復浸漬耐火涂料(主要成分為硅溶膠)和在熔模上噴涂耐火砂、硬化外殼和干燥的步驟；熔化內熔模，得到模腔；烘烤殼體以獲得足夠的強度并燒掉殘留的熔模材料；澆注所需的金屬材料；凝固冷卻、脫殼、清砂，得到高精度成品。
硅溶膠用于精密鑄造。由于其良好的粘接能力和填充性能，制成的殼體強度高、光澤度高、易脫模，在該領域得到廣泛應用。根據具體使用要求的不同，分為表面硅溶膠和背面硅溶膠，消耗巨大。